问题:
二次电子和背散射电子是如何产生的?它们的产率主要与什么因素有关?二次电子像和背散射电子像分别反映样品
答案:
二次电子是被入射电子轰击出来的样品核外电子,背散射电子是被样品中原子反射出来的一部分入射电子;二次电子产率主要与入射电子束和样品表面法线方向所形成的夹角有关,背散射电子产率主要与样品中原子的原子序数有关。二次电子像反映样品的表面形貌信息,而背散射电子像反映样品表面化学组成分布的信息。
FAQ(常见问题解答)
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