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问题:

当电子束入射重元素和轻元素时, 其作用体积有何不同 ?各自产生的信号的分辨率有何特 点?

答案:

答:电子入射轻元素时,作用体积呈滴状;入射重元素时,呈半球状、分析轻元素时,可达 较高的分辨率;而分析重元素时,即使电子束斑很小,也不能达到较高的分辨率。