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问题:

简述全息干涉测量技术特点。

答案:

1)一般干涉测量只可用来测量形状比较简单的高度抛光表面的工件,而全息干涉测量能够对具有任意形状和粗糙表面的三维表面进行测量,精度可达光波波长数量级。
2)由于全息图再现具有三维性质,故用全息技术就可以从许多不同 视角去观察一个形状复杂的物体,一个干涉测量全息图可相当于用一般干涉测量进行的多次观察。
3)全息干涉测量可以对一个物体在两个不同时刻的状态进行比对,因而可以探测物体在一段时间内发生的任何改变。
4)不足:测量范围小,仅几十微米左右。