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问题:

氮化硅在IC芯片上的用途

答案:

1、硅局部氧化形成过程中,作为阻挡氧气扩散的遮蔽层。
2、作为化学抛光的遮挡层。
3、用于形成侧壁空间层、氧化物侧壁空间层的刻蚀停止层或空间层。
4、在金属淀积之前,作为掺杂物的扩散阻止层。
5、作为自对准工艺的刻蚀停止层。